Особенность:

● Одноступенчатое регулирование давления

● Подходит для газов высокой чистоты: поверхностная шероховатость ≤ 20Ra (0,5 мкм)
● Высококачественные клапаны с резьбовыми фитингами

● Встроенный фильтр на 10 микрон

● Каждая панель под давлением заполняется инертным газом и проверяется на утечки с помощью детектора утечек гелия.

● Высоконапорные запорные клапаны обеспечивают надежный и точный контроль потока газа для требовательных применений.

● Установка продувки под высоким давлением обеспечивает эффективную продувку линий высокого давления для предотвращения загрязнения.

● Клапан изоляции технологической линии позволяет проводить обслуживание или ремонт без перерыва работы всей системы.

Цель

Газовая панель серии HPS5 предназначена для подачи некоррозионных, нетоксичных
газы и газовые смеси класса чистоты до 6,0 (99,9999%) в газораспределении
Системы с одним газовым баллоном, где небольшие колебания давления допустимы.

  Общая информация

Газовая панель серии HPS5 содержит одноступенчатый мембранный редуктор давления
регуляторы и три диафрагменных изолирующих клапана, установленные на нержавеющей стали
основание и соединено с помощью резьбовых фитингов 1/4 дюйма*.
Применения:
• Химическая промышленность
• Микроэлектроника

Спецификация